2026年4月22日至24日，第十九屆中國(guó)科學(xué)儀器發(fā)展年會(huì)（ACCSI2026）在北京隆重舉行。大會(huì)設(shè)置了十余場(chǎng)專業(yè)論壇，呈現(xiàn)了150余個(gè)精彩報(bào)告，全面展現(xiàn)了中國(guó)科學(xué)儀器領(lǐng)域的前沿創(chuàng)新與發(fā)展趨勢(shì)-。在這場(chǎng)行業(yè)盛會(huì)上，飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS） 成為備受關(guān)注的焦點(diǎn)之一。雪迪龍質(zhì)譜產(chǎn)品經(jīng)理董丹受邀發(fā)表專題報(bào)告《飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀SurfaceSeer平臺(tái)及半導(dǎo)體應(yīng)用》，深入闡述了TOF-SIMS憑借高分辨率、高靈敏度等核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)，在半導(dǎo)體等關(guān)鍵行業(yè)表面分析領(lǐng)域的應(yīng)用場(chǎng)景與價(jià)值-。

三十余年技術(shù)積淀，SurfaceSeer TOF-SIMS國(guó)產(chǎn)化新征程

雪迪龍?jiān)?/span>TOF-SIMS表面分析技術(shù)領(lǐng)域的積累可追溯至1995年——英國(guó)Kore公司研發(fā)出SurfaceSeer TOF-SIMS第一臺(tái)工程樣機(jī)-。三十余年的持續(xù)深耕，讓SurfaceSeer 飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀能夠從容應(yīng)對(duì)各類微觀表面分析挑戰(zhàn)2026年，雪迪龍SurfaceSeer TOF-SIMS國(guó)產(chǎn)化機(jī)臺(tái)正式下線，這一里程碑標(biāo)志著我國(guó)在二次離子質(zhì)譜表面分析儀器領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從技術(shù)引進(jìn)到自主可控的關(guān)鍵跨越，TOF-SIMS國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程的加速推進(jìn)，正在有效降低國(guó)內(nèi)企業(yè)與科研機(jī)構(gòu)對(duì)進(jìn)口儀器的依賴-。

半導(dǎo)體TOF-SIMS表面分析儀器：覆蓋全鏈條檢測(cè)需求

SurfaceSeer 飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS） 的應(yīng)用場(chǎng)景極為廣泛，覆蓋半導(dǎo)體、清潔能源、金屬及光學(xué)器件、高分子材料、生物材料、電子材料、陶瓷、藥物、生命科學(xué)等眾多領(lǐng)域-。該表面分析質(zhì)譜儀可實(shí)現(xiàn)無(wú)機(jī)/有機(jī)材料表面、界面、薄層、深度剖析以及生物醫(yī)學(xué)研究-。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，半導(dǎo)體TOF-SIMS表面分析儀器的應(yīng)用覆蓋芯片制造全流程-：

薄膜成分與界面元素分布分析——精準(zhǔn)表征薄膜材料成分及界面擴(kuò)散行為 

先進(jìn)制程多層膜元素互擴(kuò)散監(jiān)測(cè)——為先進(jìn)制程工藝控制提供數(shù)據(jù)支撐  

芯片制造全流程金屬沾污監(jiān)控——保障芯片良率與可靠性  

光刻、刻蝕、清洗工藝殘留監(jiān)控——助力工藝優(yōu)化與缺陷預(yù)防

 芯片失效分析與失效根源定位——為半導(dǎo)體失效分析TOF-SIMS提供關(guān)鍵手段

 TOF-SIMS可檢測(cè)包括氫在內(nèi)的全部元素及其同位素信息，分析深度通常小于1納米-。在半導(dǎo)體摻雜劑與雜質(zhì)的深度剖析、薄膜成份及雜質(zhì)測(cè)定等場(chǎng)景中，TOF-SIMS半導(dǎo)體檢測(cè)發(fā)揮著難以替代的作用-。

榮獲“科學(xué)儀器優(yōu)秀企業(yè)"，技術(shù)實(shí)力獲行業(yè)認(rèn)可

在ACCSI2026同期舉辦的儀器及檢測(cè)3i獎(jiǎng)?lì)C獎(jiǎng)盛典上，雪迪龍榮獲 “2025年科學(xué)儀器優(yōu)秀企業(yè)" 稱號(hào)-。這一榮譽(yù)是對(duì)公司在飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀等科學(xué)儀器領(lǐng)域技術(shù)實(shí)力與發(fā)展成就的高度認(rèn)可，多款便攜質(zhì)譜產(chǎn)品同期展示，深化行業(yè)交流合作

ACCSI2026同期設(shè)置的特色展覽中，雪迪龍展示了便攜式氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀、便攜式飛行時(shí)間質(zhì)譜儀、便攜式傅里葉紅外分析儀等多款最新成果，這些產(chǎn)品與SurfaceSeer 飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS） 共同構(gòu)成了雪迪龍從實(shí)驗(yàn)室精密分析到現(xiàn)場(chǎng)快速檢測(cè)的產(chǎn)品矩陣，進(jìn)一步深化了與行業(yè)伙伴的交流合作-。